728x90 용어2 스퍼터링(Sputtering) 스퍼터링(Sputtering)은 집적회로 생산라인 공정에서 많이 쓰이는 진공 증착법의 일종으로 비교적 낮은 진공도에서 플라즈마를 이온화된 아르곤 등의 가스를 가속하여 타겟에 충돌시키고, 원자를 분출시켜 웨이퍼나 유리 같은 기판상에 막을 만드는 방법을 뜻한다 Sputtering (스퍼터링) 공정앞서 소개했던 Evaporation 방식의 증착 공정은 공정상의 한계가 명확하므로 현대의 산업에선 잘 쓰이지 않는다.이번엔 현대 산업에서 많이 쓰이고 있는 PVD 공법인 스퍼터링 (Sputtering)공정에 대해서 알아보겠다. Sputter이라는 영단어의 직역은 '탁탁거리는 소리' 이다.이 의미를 공정에서 Target물질을 '탁탁' 쳐 내면서 증착시킨다고 생각하면 쉽다.Sputtering (gfycat.com)Spu.. 2024. 9. 19. 스프링 용어집 스프링 용어집입니다.스프링에 관한 자료는 이 페이지에 게재하고 있습니다, 뭔가 의문이 있으면 꼭 이 페이지를 봐 주세요. 유용한 정보도 가득합니다.스프링의 기초 지식태엽 스프링의 특징과 용도모양에 따른 스프링 분류스프링 정의용도에 따른 스프링 분류재질에 의한 스프링의 분류스프링의 조각에 받는 응력 상태에 따른 분류스프링의 기능에 대해서제조방법에 의한 스프링의 분류하중의 종류와 특성 재료의 물성에 관한 용어전도도열팽창 계수비중비열전기 저항투자율재료의 기계적 성질에 관한 용어횡탄성계수(강성률)스프링 한계값포아송 비율세로 탄성계수(영률)스프링 재료의 항복점재료의 비례한·탄성한재료 경도재료의 내력재료 신장탄성 계수스프링 재료의 인장 강도재료 조리개재질에 관한 것스프링 재질스프링용 재료의 사용 한계 온도(정하중 .. 2024. 7. 10. 이전 1 다음 728x90
