728x90 진공2 Electronic-Beam Evaporator(E-Beam 진공증착법) Electronic-Beam Evaporator(E-Beam 진공증착법)은 lectronic-Beam을 이용하여 증발원을 가열시켜 증착시키는 방법이다. 기판을 만들려는 물질의 용융점이 넓은 경우에 많이 사용된다. 용융점이 넓은 물질로는 W, Nb, Si가 있다. 장점으로는 물질 표면만 용해가 일어나므로 효율이 높고 오염이 적다. 또한 용융점이 높은 금속에 적합하다. 그리고 전자빔의 세기가 강하면 증착되는 속도가 빨라진다는 것이고, 다른 증착법과 비교해 높은 순도 박막이 만들어진다는 것이다. 단점으로는 X-ray가 발생한다는 것과 와류와 방전이 심하다는 것이다. Electronic-Beam Evaporator의 증착 순서는 우선 필라멘트(주로 W로 되어있음)에 강한 전류를 공급한다. 그러면 필라멘트에서 전.. 2025. 2. 28. 진공펌프 용량 계산식 공정에 알맞는 진공펌프의 용량을 계산하는 것 역시 가장 중요한 일 중의 하나입니다.용량을 산출하는 방법은 다음과 같습니다.① 공정 전체의 용적을 계산합니다.진공로나 진공이 걸리게 되는 용기의 용적을 계산합니다.용기로부터 펌프까지의 배관 용적을 계산합니다.배관의 굵기와 길이에 따른 흐름저항을 계산합니다.② 작업 진공도에 도달해야하는 최단 시간을 계산합니다.③ 다음의 공식을 이용하여 펌프의 용량을 계산합니다.S: 2.303V/TlogP1/P2S: 진공 펌프의 용량(ㅣ/min)V: 용기의 용량(ㅣ)T: 작업 진공도에 도달하기까지의 요구되는 시간(minute)P1: 작업 진공도(Torr)P2: 초기진공도(일반적으로 대기압이므로 760 Torr)예를 들어, 배관 및 용기의 용적이 150 ㅣ이고, 작업 진공도가 8.. 2025. 1. 17. 이전 1 다음 728x90